Mae egwyddor weithredol micromachining yn cynnwys yr agweddau canlynol yn bennaf:
Micromachining arwyneb: Mae mecanwaith micromachining arwyneb yn cynnwys dyddodi haen ynysu ar y wafer silicon ar gyfer inswleiddio trydanol neu amddiffyniad swbstrad, yna adneuo haen aberthol a phrosesu patrwm, yna adneuo haen strwythurol a phrosesu'r patrwm, ac yn olaf toddi'r broses o fod yn ficrostroction y bine} Rhannau strwythurol, yn enwedig ar gyfer prosesu trawstiau cantilifer, setiau gêr, tyrbinau, cranciau a rhannau microstrwythur arwyneb cymhleth eraill .
Prosesu Micro-Nano Laser: Mae Technoleg Prosesu Micro-Nano Laser yn defnyddio trawstiau laser fel offer prosesu i brosesu deunyddiau yn gywir ar y raddfa micron neu hyd yn oed nanomedr trwy drawstiau laser dwysedd ynni uchel . Mae'r rhyngweithio rhwng y laser a mater yn cynnwys yr egni, yn cynnwys yr amsugno, yn cynnwys yr egni, yn cynnwys yr egni, energy, resulting in a local temperature increase of the material, which in turn triggers melting, vaporization, phase change or chemical reaction. High-precision processing can be achieved by precisely controlling parameters such as the energy density, spot size and irradiation time of the laser beam.
Technoleg polymerization two-ffoton: Mae'r mainc gwaith micromachining yn mabwysiadu technoleg polymerization dau ffoton, a gall ei phenderfyniad gyrraedd 1 micron . Mae'r dechnoleg hon yn defnyddio dau ffoton i weithredu ar y deunydd ar yr un pryd, gan achosi iddo bolymeiddio mewn lleoliad penodol, a thrwy hynny gynnil microm}.
Technoleg amlygiad ultraviolet: Technoleg amlygiad uwchfioled yw'r dechnoleg graidd ar gyfer gweithgynhyrchu cylchedau integredig ar raddfa fawr a dyfeisiau lled-ddargludyddion . trwy amlygiad band uwchfioled penodol, datblygu ac ysgythru, mae'r patrwm ar y mwgwd yn cael ei engrafio ar y technoleg silicon y silicon hwn {} { ailadroddadwyedd .
Femtosecond Laser Micromachining: Mae micromachining laser femtosecond yn defnyddio'r dwyster brig uchel ac amser gweithredu byr iawn o laserau pwls ultrashort i reoli neu drin cyflwr y deunyddiau yn gywir . oherwydd y deunydd ynni uchel iawn a bod yn well o ran y gwres, y ZeSt-Afeled, y ZeShed, y ZeSt-Afed, y ZeSt-AFEED, y ZELESSED, y ZELESSED ALLAN, A THE GWELEDIGAETH FORTECTED, Y GWELEDIG ATELY I'R GWEITHREDOL ATEL ATELY, Y GWELEDIG ALLWEDDOL, Y GWEITHREDU EXTERLESSED, Y GWEITHREDOL ATEL A HYFFORDDIANT HAWLSET A DE canlyniad .